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PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,铁氟龙卡匣 , 铁氟龙晶舟盒 ,铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,PFA硅片清洗架特氟龙清洗花篮4寸带把手
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PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,铁氟龙卡匣 , 铁氟龙晶舟盒 ,铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
特点 1.耐腐蚀:耐受强酸强碱 2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输 3.耐高低温:-200~260℃ 4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关; 5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb; 6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染 7.化学性能稳定 |